台湾专利TW201302570A 用於收納基板之卡匣

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专利摘要:
一種收納基板之卡匣可包含卡匣主體，其係用以收納基板；門板，其係用以選擇性地密封卡匣主體；多個磁性單元，其係用以將門板主要地耦接於卡匣主體；以及多個閂鎖單元，其係用以將門板於次要地耦接卡匣主體。由於門板係完全地接觸卡匣主體，故可從根本上阻止從外部環境污染源的滲透。此外，由於門板係藉由多個磁性單元以及多個閂鎖單元雙重耦接至卡閘主體，因此可達到更穩固的耦接效果。
公开号:TW201302570A
申请号:TW100144015
申请日:2011-11-30
公开日:2013-01-16
发明作者:Eui-Woong Nam；Koang-Pyo Jin；Sang-Kyu Cho
申请人:Samsung Display Co Ltd；
IPC主号:H01L21-00

专利说明:
用於收納基板之卡匣
相關申請案之交互參照
此申請案參閱、合併其於此處及依35 U.S.C. §119之規定主張早期於2011年7月7日向韓國智慧財產局所提交之申請案之所有優先權效益，該申請案號為10-2011-0067537。
本發明是有關於一種卡匣，特別是指一種用於收納基板以防止基板在運送或儲藏時被外部環境污染之卡匣。
一般來說，平板顯示設備，如有機發光顯示器（OLED）或液晶顯示器（LCD）係使用大尺寸的母玻璃以使製造過程更便利。
當製造平面顯示器時，用於收納基板的卡匣係用來搬運或儲存複數片母玻璃。該卡匣可收納例如複數片母玻璃之基板。
在大多數的情況下，用以製造平面顯示器之乾淨廠房皆具有空氣清淨裝置。然而，當基板收納於卡匣中進行運送或儲存時，附著在工人身上或是漂浮在廠房內之外來物質可能輕易地滲入卡匣中，且可能附著在基板的表面。因此，平面顯示器的品質可能劣化。故，卡匣之內部空間需選擇性地密封。
根據本發明之一態樣，其係提供一種用於收納複數個基板之卡匣，該卡匣可包括一卡匣主體，其係用以收納基板；一門板，其係用以選擇性地封裝卡閘主體；多個磁性單元，其係用以將門板主要地耦接至卡閘主體；以及多個閂鎖單元。其係用以將門板次要地耦接於卡匣主體。
卡匣主體可形成框架結構，其中複數個框架係連接成一箱型且多個蓋板可耦接於框架上。
用以支撐垂直堆疊之基板的複數個支撐單元可形成於卡閘主體中，且可從卡匣主體之後側朝向卡匣主體之開口處延伸以穿過卡匣主體之內部空間，而用以支撐基板之旁側邊緣的複數個座體可自卡閘主體之側邊突出。
用於支撐基板之後側的多個背擋板可連接至位於卡閘主體之後側上的框架。
密封層可沿著面對卡匣主體之開口處之門板邊緣而進一步形成。
多個磁性單元可包含一個或多個形成於門板或卡閘主體中之磁鐵、以及多個導磁板，其係形成於卡匣主體或門板中並藉著磁力耦接於該至少一磁鐵。
磁鐵可沿著面對卡匣主體之開口處之門板邊緣所形成，而導磁板可形成以圍繞卡匣主體之開口以對應磁鐵。
每一個閂鎖單元可包含插入形成於門板框架中之門板導引凹部內的閂鎖插銷（latch pin），且朝著卡匣主體直線地往復進出。
閂鎖插銷可包含主體單元，其係選擇性地耦接至形成於卡匣主體之閂鎖插銷耦接凹部；以及插銷單元，其係形成於主體單元之一側且具有閂鎖插銷通孔，閂鎖插銷通孔提供外部工具之插銷插入以使閂鎖插銷直線地往復進出。
每一個閂鎖單元可更包含位置固定單元，其係用以控制該閂鎖插銷之移動。
位置固定單元可包含閉鎖凹部，其係環繞地形成於閂鎖插銷之主體單元；以及閉鎖單元，其係形成於門板框架中且選擇性地耦接於閉鎖凹部以在閂鎖插銷移動後固定閂鎖插銷之位置。
閉鎖單元可包含彈簧，其係形成於位於門板框架中之凹部中；以及閉鎖球件，其係形成於彈簧上並選擇性地耦接於閉鎖凹部。
閉鎖凹部以及閉鎖單元可分別形成於閂鎖插銷上之主體單元中以及位於門板框架之位置，該些位置係在該閂鎖插銷耦接至閂鎖插銷耦接凹部後避免閂鎖插銷被替換之位置。
開孔可更形成於面對卡閘主體之開口的門板之前面中，開孔係用以將外部工具之插銷插入閂鎖插銷通孔以直線地移動閂鎖插銷。
一個或多個閂鎖插銷導板可形成於門板框架之門板導引凹部內之閂鎖插銷之周圍，因而防止當閂鎖插銷移動時發出聲響。
一或多個定位孔可更形成於門板之前表面中，其中用以選擇性地開啟或關閉對應於卡匣主體之門板的外部工具之至少一定位插銷係插入至少一定位孔中，以將外部工具對齊門板。
用以控制經密封的卡閘主體之內部氣壓的氣體過濾單元可更形成於門板中。
一個或多個用以使門板與卡閘主體適當地耦接之角隅導板單元可沿著面對卡匣主體之開口之門板的邊緣形成且彼此相互間隔。
藉由外部工具真空吸取之區域可形成於門板之前表面上。
密封層可更沿著卡匣主體之開口的邊緣而形成。
用以搬運卡閘之懸掛式搬運握把（overhead hoist transport （OHT） grip），可形成於卡匣主體之上表面上。
雖然發明之例示性實施例係容許各種修改及替代型式，其特定實施例係以圖式為範例而顯示，且將於後文中詳細描述。然而應理解的是，在此並不意欲將本發明之例示性實施例限定於所揭露之特定型式，相反地，本發明之例示性實施例係涵蓋包含於本發明之精神與範疇下之所有修改、等效物、以及替代物。在本發明下述的描述中，當後文中之習知功能與構造造成本發明標的不明確時將省略其詳細描述。
將理解的是雖然此處第一、第二、第三等術語可被使用以描述各種元件，此些元件不應受限於此些術語。此些術語僅使用以區分一元件與另一元件。
此處所使用之專門術語僅為了描述特定的實施例而非意圖限制本發明之例示性實施例。此處所使用之單數形式“一（a）”、“一（an）”及“該（the）”除非內文清楚指出，否則亦意圖包含複數形式。將進一步理解的是當術語“包括（comprises）”、“包括（comprising）”、“包含（includes）”及/或“包含（including）”使用於此說明書中時，係具體說明所述的特徵、整數、步驟、操作、元件、組件及/或群組之存在，但不排除額外的一或多個其他特徵、整數、步驟、操作、元件、組件及/或其群組之存在。
下文中，本發明將參照附圖以闡述本發明的實施例來描述。圖式中相同之參考符號代表相同的元件，且重複描述將會省略。
第1圖係為根據本發明實施例之用於收納基板之卡匣之前側爆炸透視圖；第2圖係為第1圖所示之卡匣之後側爆炸透視圖；第3圖係為第1圖中之之門板之透視圖。
請參閱第1圖至第3圖，卡匣100包含卡匣主體110、門板120、磁性單元130、以及閂鎖單元150。
卡匣主體110形成ㄧ框架結構，其中複數個框架111係連接成一箱型。在這種情況下，卡匣主體110之至少一表面係形成為開口112而提供ㄧ入口以收納例如複數片母玻璃基板之基板210。框架111可使用具有極佳地硬度之金屬材料所形成。
蓋板113係耦接於框架111之外部。在每個框架結構之每一表面可能形成一塊蓋板113，或是複數個框架111彼此相連接處可能形成複數塊蓋板113。
作為耦接方法，蓋板113可嵌入形成於框架111中之凹部，或可旋入框架111之前方或後方表面。然而並不以此種耦接之方法為侷限。蓋板113完全地覆蓋複數個框架111之外部但不包括開口112。蓋板113可由例如聚碳酸酯（polycarbonate）之聚合樹脂形成。
形成於卡匣主體110上之複數個支撐單元114係垂直地堆疊以支撐基板210。支撐單元114係形成以用以防止較大尺寸之基板210下垂掉落。
支撐單元114可從卡匣主體110之後側朝向卡匣主體110之前側而形成，意即朝著開口112，因而以水平方向穿過卡匣主體110之內部空間。支撐單元114藉由額外形成之支撐構件（未繪示於圖中）與卡匣主體110之框架111耦接。支撐單元114可形成為條狀以支撐基板210之下表面。支撐單元114係以卡匣主體110之垂直方向彼此區隔。
複數個座體115係形成於卡匣主體110之兩相對側邊上。座體115係形成凸狀物，並從左側以及右側框架111朝著卡匣主體110之內部空間突出。座體115係形成以支撐基板210之左側以及右側邊緣。座體115係與支撐單元114設置於相同高度。
因此，當基板210被放置於卡匣主體110中時，基板210之下表面可由支撐單元114所支撐。同時地，基板210之旁側邊緣係由座體115所支撐。因此，基板210係安全地放置於卡匣主體110內。
背側擋板116係形成於卡匣主體110之後側上。背側擋板116可形成為一個或多個垂直片（vertical strip）。背側擋板116係連接卡閘主體110之後框架111。背側擋板116支撐基板210之後側邊緣。
背側擋板116防止透過卡閘主體110之開口112所收納之基板210移動超越卡閘主體110之後側。
在此同時，當卡匣主體110移動時，形成在框架111下之襯墊117提供了吸收外部碰撞的緩衝力。
門板120係形成於卡匣主體110之前側上，且係選擇性地與開口112耦接以提供收納基板210之入口。如此一來，卡匣主體110可藉由門板120開啟或關閉。
複數個門板框架121係相互連接以形成門板120，且門片122和門板框架121耦接。門板120具有足夠地大小尺寸以完全地覆蓋開口112。
於此，磁性單元130係形成於卡匣主體110及門板120上，以選擇性地將門板120耦接至卡匣主體110。
磁性單元130包含形成於卡匣主體110或門板120內之一個或多個磁鐵131（請參閱第4圖）、以及導磁板132，其係形成於門板120或卡匣主體110內以對應磁鐵131。
現將詳細地描述磁性單元130。
第4圖係為第3圖中所繪示之磁性單元之放大透視圖。更具體地說，第4圖說明在第3圖中所繪示之磁性單元130形成於門板120之一部分。
請一併參閱第3圖以及第4圖，磁性單元凹部123可沿著如第1圖所示之面對卡匣主體110的開口112之門板120之邊緣，相互間隔地形成於該門板框架121上。磁性單元凹部123可容納磁鐵131，例如具有強磁力之釹（Nd）磁鐵。磁鐵扣件133可形成以覆蓋磁鐵131。
當門板120耦接於卡匣主體110時，耦接於磁鐵131之導磁板132（請參閱第1圖）係形成於面向磁鐵131之卡匣主體110之開口112的周圍。導磁板132係沿著卡匣主體110之開口112之邊緣而設置以對應磁鐵131。導磁板132可藉由形成凹部於門板框架121中而形成。
當門板120與卡匣主體110接觸時，形成於門板120前表面之磁鐵131係吸附於形成於卡匣主體110內之導磁板132。因此，卡匣主體100之內部空間可密封以隔絕外部環境。
在這種情況下，閂鎖單元150可更形成於卡匣主體110以及門板120中以加強門板120與卡匣主體110間之耦接程度。
第5圖係為沿第3圖所示之線段V-V所截取之剖面圖。
請參閱第5圖，閂鎖單元150包含形成於門板框架121中之閂鎖插銷151。閂鎖插銷151包含具有圓柱形狀之主體單元152、以及自主體單元152之一端突出之插銷單元153。
閂鎖插銷151係插入形成於門板框架121中之門板導引凹部124以直線往復地進入或移出卡匣主體110之框架111。門板導引凹部124係以門板框架121之水平方向延伸至一預定長度。
閂鎖插銷通孔154係形成於插銷單元153中。用以吸附門板120之外部工具（例如：機器工具）之插銷（未繪示於圖中）係插入閂鎖插銷通孔154中。
當機器工具之插銷插入閂鎖插銷通孔154後，閂鎖插銷151可藉由機器工具進行直線往復地移動，因此可插入形成於卡匣主體110之框架111內之閂鎖插銷耦接凹部118。
在此種情況下，用以控制閂鎖插銷151的移動之位置固定單元155係更形成於閂鎖插銷151周圍。位置固定單元155包含係形成於閂鎖插銷151中之閉鎖凹部156、以及形成於門板框架121中之閉鎖單元157。
閉鎖凹部156係以一預定深度形成於閂鎖插銷151之主體單元152周圍。在閂鎖插銷151移動後，閉鎖單元157係選擇性地與閉鎖凹部156耦接，以固定閂鎖插銷151之位置。
閉鎖單元157包含形成於門板框架121之凹部之彈簧158、以及形成於彈簧158上且耦接至閉鎖凹部156之閉鎖球件159。閉鎖球件159可藉由彈簧158維持彈力。
當閂鎖插銷151插入閂鎖插銷耦接凹部118後，而可用以防止因為外在碰撞或類似情況使得閂鎖插銷151偏離位置，閉鎖球件159係與閉鎖凹部156耦接。
閉鎖凹部156以及閉鎖單元157係分別形成於閂鎖插銷151之主體單元152、以及門板框架121之位置上，其中該位置係為當閂鎖插銷151與閂鎖插銷耦接凹部118耦接後，可避免閂鎖插銷151被取代之位置。
閉鎖凹部156之入口156a可為弧形以允許與閉鎖球件159合適地耦接，以及可防止閉鎖球件159之磨損。
同樣地，當閂鎖插銷151直線往復地移動時，一個或多個閂鎖插銷導板220係形成於門板導引凹部124以防止因為存在於閂鎖插銷151以及門板導引凹部124之間之間隙而導致閂鎖插銷151發出聲響。
閂鎖插銷導板220環繞閂鎖插銷151。閂鎖插銷導板220可沿著形成於門板框架121之門板導引凹部124之外周壁或內周壁上形成。閂鎖插銷導板220可以聚合樹酯形成，其中聚合樹酯可用於當閂鎖插銷移動時，減少閂鎖插銷151的摩擦。
於此同時，用以將機器工具之插銷插入閂鎖插銷通孔154以向左或向右移動閂鎖插銷151，以及用以提供機器工具之插銷移動空間之開孔125進一步形成於門板120之前表面中。
請一併參閱第1圖至第3圖，複數個定位孔140係形成於門板120之前表面中。當門板120係選擇性地耦接卡匣主體100時，用以吸附門板120之機器工具可與門板120之前表面接觸。在此情況下，被機器工具之定位插銷所插入於其中之定位孔140係形成於門板120中，以檢查機器工具是否設置在門板120上之正確位置。
定位孔140係以ㄧ預定深度並沿著門板120前表面上之門片122之厚度方向而形成。定位孔140於門片122之厚度方向具有足夠用以插入機器工具之定位插銷之尺寸，且並不會穿透門片122。定位孔140係沿著門板120之前表面之對角線方向而形成。
於此同時地，為了控制內部壓力、增強密封能力、使用附著以及去附著（attachment and detachment）、或進行真空抽吸，可於門板120中形成額外的元件。
複數個氣體過濾單元160係形成於門板120中。當卡匣100之內部壓力增加或需要過濾進入卡匣100之外來物質時，氣體過濾單元160可釋放內部空氣。
第6圖係為第3圖所繪示之角隅導板單元以及密封層之放大透視圖，且第7圖係為根據本發明之另一實施例之卡閘主體以及密封層之放大透視圖。
如第6圖所示，密封層170係形成於面對卡匣主體110的開口112之門板120的後表面，且沿著門板120的邊緣形成。或者，如第7圖所示。密封層170係沿著卡匣主體110的開口112之邊緣而形成於框架111內部。
請再次參閱第6圖，複數個角隅導板單元180係形成於面對卡匣主體110的開口112之門板120的後表面上。角隅導板單元180係沿著門板120之邊緣而彼此間隔分離。角隅導板單元180鄰近卡匣主體110之開口112的一部分181係為錐狀，以允許卡匣主體110合適地耦接至門板120。角隅導板單元180可以聚合樹酯形成。
此外，機器工具之真空抽吸單元進行真空抽吸之真空抽吸區域190（請參閱第1圖）係形成於與卡匣主體110的開口112相對之門板120的前表面。真空抽吸區塊190係形成於門板120之四個轉角上。機器工具之真空抽吸單元可個別地於真空抽吸區塊190進行真空抽吸，以選擇性地自卡匣主體110分離門板120。
同時地，請再參閱第1圖至第3圖，用以搬運卡匣100之懸掛式搬運握把（overhead hoist transport (OHT) grip）200係形成於卡匣主體110之上表面。
具有上述所描述結構之卡匣100之操作將會在以下被詳細地描述。
於此，在卡匣100中，基板210係堆疊於卡匣主體110之內部空間中，以及門板120係耦接於卡匣主體110。
首先，機器工具接近以與門板120接觸。在機器工具接觸門板120後，機器工具之複數個定位插銷係插入在門板120之前表面上沿著對角線方向形成之定位孔140中。藉由將機器工具之定位插銷插入定位孔140中，可檢查機器工具是否設置在門板120之正確位置上。
接著，機器工具之複數個真空抽吸單元對形成於門板120的前表面之轉角處之真空抽吸區域190進行真空抽吸。門板120可由機器工具之真空抽吸單元抽吸直到完成一次循環，因此減少了製程數。
於此之後，作為安全元件之閂鎖單元150係形成以加強門板120至卡匣主體110之耦接力，其係操作以鬆開處於耦接情況下之門板120以及卡匣主體110。
更詳細地說，閂鎖插銷151係與形成於卡匣主體110之框架111上之閂鎖插銷耦接凹部118耦接。為了鬆開耦接情況，通過形成於門板120的前表面上之開孔125，機器工具之插銷可插入閂鎖插銷通孔154。
於是，閂鎖插銷通孔154形成於其中之插銷單元153係移動至門板120之左側，以使耦接至閂鎖插銷耦接凹部118之閂鎖插銷151之主體單元152可自閂鎖插銷耦接凹部118分離。
在此種情況下，當閉鎖球件159與閉鎖凹部156耦接以控制閂鎖插銷151的作動進行機械式地接觸閉鎖凹部156時，閉鎖球件159係自閉鎖凹部156分離。如此一來，閂鎖插銷151可沿著門板導引凹部124向左移動。
藉由上述所描述之閂鎖單元150之操作，閂鎖插銷151係自形成於卡匣主體110之框架111之閂鎖插銷耦接凹部118鬆開。
接下來，藉由機器工具之真空抽吸單元鎖吸附之門板120係自卡匣主體110分離。在此種情況下，因為來自機器工具之外力，因而使得吸附在卡匣主體110之導磁板132上之門板120上的複數個磁鐵131係被強迫鬆開。
此後，垂直地堆疊於卡匣主體110中之基板210係藉由卸載工具而卸載，並隨後被搬運以進行所需處理。
在垂直地堆疊於卡匣主體110中之基板210完全卸載後，其他複數個基板210可裝入卡匣主體110中。
在此種情況下，因為基板210可能具有較大的尺寸，其中心部位可能因此向下下垂。為了防止這類問題發生，基板210係由支撐單元114所支撐，支撐單元114係自卡閘主體110之後側朝向開口112而形成以穿過卡閘主體110之內部空間。同時地，基板210之左側以及右側邊緣可放置在複數個底座115上，其中複數個座體115係互相面對形成且從框架111突出。
同時，基板210可被形成在卡匣主體110的背側之複數個背側擋板116所支撐，因此基板210不會移動超出卡匣主體110之後側。如此一來，基板210可安全地容納在卡匣主體110中。
如上述步驟，當複數個基板210完全地重新裝載後，門板120即可與卡匣主體110耦接。在此種情況中，門板120係已預先由機器工具之真空抽吸單元利用前述步驟進行真空抽吸。
磁鐵131係形成於沿著門板的邊緣的磁性單元凹部123內且吸附在形成於卡匣主體110之開口112周圍以對應磁鐵131之導磁板132上。因此，係可用以耦接該門板120於該卡匣主體110之主要手段。
在此種情況下，角隅導板單元180可形成於面對卡匣主體110的開口112之門板120的後側方。因為當鄰近卡匣主體110的開口112之角隅導板單元180之部分181為錐狀，門板120可合適地與卡匣主體110耦接。
此外，因為密封層170可於面對卡匣主體110的開口112之門板120的後側方並且沿著門板120的邊緣被形成，卡匣主體110之密封性可被增加。
然後，形成以加強門板120與卡匣主體110之一耦接力之閂鎖單元150可被操作以穩固地耦接門板120與卡匣主體110。
在門板120與卡匣主體110耦接後，機器手工具的插銷可被嵌入進閂鎖插銷通孔154。隨後位於閂鎖插銷通孔154之插銷單元153可被移動至門板120之右側方向以使閂鎖插銷151之主體單元152可被嵌入進形成於卡匣主體110之框架111上之閂鎖插銷耦接凹部118。
在此種情況中，形成於門板框架121之閉鎖球件159，可彈性地耦接環繞形成於閂鎖插銷151之閉鎖凹部156，用以防止閂鎖插銷151的移動。在此種情況中，閉鎖凹部156之一入口156a可為一曲線形狀以允許與閉鎖球件159合適地耦接。
然後，機器工具之真空抽吸單元係自門板120之真空抽吸區塊190分離。
在此之後，插入定位孔140中之機器工具之定位插銷可被分離，其中定位孔140係沿著門板120的前側表面之對角線方向而形成。
據此，即完成卡匣100之一次循環過程。
據此，卡匣100可主要地藉由磁性單元130以及次要地藉由閂鎖單元150而大幅地增加門板120對卡匣主體110之耦接力。
如上所述，再根據本發明之用以收納基板之卡匣中，因為門板係與卡匣主體完全地接觸，所以可根本地防止來自外部環境之汙染源的穿透。此外，因為門板與卡匣主體係藉由磁性單元以及閂鎖單元雙重耦接，固可達成穩固地耦接。
雖然本發明以具體地顯現以及參閱其例示性實施例而描述，然而本領域具有通常知識者應了解的是，各種形式與細節的改變將在未脫離後附申請專利範圍所定義之本發明之精神與範疇下而進行。
100．．．卡匣
110．．．卡匣主體
111．．．框架
112．．．開口
113．．．蓋板
114．．．支撐單元
115．．．座體
116．．．背側擋板
117．．．襯墊
118．．．閂鎖插銷耦接凹部
120．．．門板
121．．．門板框架
122．．．門片
123．．．磁性單元凹部
124．．．門板導引凹部
125．．．開孔
130．．．磁性單元
131．．．磁鐵
132．．．導磁板
133．．．磁鐵扣件
140．．．定位孔
150．．．閂鎖單元
151．．．閂鎖插銷
152．．．主體單元
153．．．插銷單元
154．．．閂鎖插銷通孔
155．．．位置固定單元
156．．．閉鎖凹部
156a．．．入口
157．．．閉鎖單元
158．．．彈簧
159．．．閉鎖球件
160．．．氣體過濾單元
170．．．密封層
180．．．角隅導板單元
181．．．角隅導板單元鄰近卡閘主體之開口的一部分
190．．．真空抽吸區域
200．．．懸掛式搬運握把
210．．．基板
220．．．閂鎖插銷導板
參照所考慮的下述詳細說明並結合圖式，將使本發明的更完整評估及其許多伴隨的優點是顯而易見的，且同時變得更好理解，其中類似參考符號係指相同或相似元件，其中：第1圖係根據本發明實施例之用於收納基板之卡匣之前側爆炸透視圖；第2圖係為第1圖所示之卡匣之後側爆炸透視圖；第3圖係為第1圖所示之門板之透視圖；第4圖係為第3圖所示之磁性單元之放大透視圖；第5圖係為沿第3圖所示之線段V-V所截取之剖面圖；第6圖係為第3圖所示之角隅導板單元以及密封層之放大透視圖；以及第7圖係為根據本發明另一實施例之卡閘主體以及密封層之放大透視圖。
100．．．卡匣
110．．．卡匣主體
111．．．框架
112．．．開口
113．．．蓋板
114．．．支撐單元
115．．．座體
116．．．背側擋板
117．．．襯墊
120．．．門板
122．．．門片
125．．．開孔
132．．．導磁板
140．．．定位孔
160．．．氣體過濾單元
190．．．真空抽吸區域
200．．．懸掛式搬運系統抓柄
210．．．基板

权利要求:
Claims (27)
[1] 一種用於收納複數個基板之卡匣，該卡匣包含：一卡匣主體，其係用以收納該複數個基板；一門板，其係用以選擇性地密封該卡匣主體；多個磁性單元，其係將該門板主要地耦接於該卡匣主體；以及多個閂鎖單元，其係將該門板次要地耦接於該卡匣主體。
[2] 如申請專利範圍第1項所述之卡匣，其中該卡匣主體形成一框架結構，其中複數個框架係連接成一箱型且多個蓋板係耦接於該複數個框架上。
[3] 如申請專利範圍第2項所述之卡匣，更包含形成於該卡匣主體中之複數個支撐單元，其係用以支撐垂直堆疊之該複數個基板，其中該複數個支撐單元係從該卡匣主體之一後側朝向該卡匣主體之一開口延伸，以穿過該卡匣主體之內部空間；該卡匣更包含從該卡匣主體之側邊框架突出之複數個座體，其係用以支撐該複數個基板之旁側邊緣。
[4] 如申請專利範圍第3項所述之卡匣，更包含多個背側擋板，其係位於該卡匣主體之該後側上並與該複數個框架連接，以支撐該複數個基板之後側邊緣。
[5] 如申請專利範圍第1項所述之卡匣，其中一密封層係沿著面對該卡匣主體之一開口之該門板邊緣所形成。
[6] 如申請專利範圍第1項所述之卡匣，其中該些磁性單元包含：至少一磁鐵，其係形成於該門板或該卡匣主體中；以及多個導磁板，其係形成於該卡匣主體及該門板其中之一中，並藉著磁力耦接於該至少一磁鐵。
[7] 如申請專利範圍第6項所述之卡匣，其中該至少一磁鐵係沿著面對該卡匣主體之一開口之該門板邊緣所形成；且該些導磁板係形成於該卡匣主體之該開口周圍因而對應至該至少一磁鐵。
[8] 如申請專利範圍第7項所述之卡匣，更包含多個磁鐵扣件，其係形成於該至少一磁鐵之外部以圍繞該至少一磁鐵之至少一部分。
[9] 如申請專利範圍第1項所述之卡匣，其中各該些閂鎖單元包含一閂鎖插銷，該閂鎖插銷插入於形成在多個門板框架中之一門板導引凹部中，並朝著該卡匣主體直線地往復進出。
[10] 如申請專利範圍第9項所述之卡匣，其中該閂鎖插銷包含：一主體單元，其係選擇性地耦接至形成於該卡匣主體中之一閂鎖插銷耦接凹部；以及一插銷單元，其係形成於該主體單元之一側，且具有一閂鎖插銷通孔，一外部工具的插銷係插入於該閂鎖插銷通孔中，以使該閂鎖插銷直線地往復進出。
[11] 如申請專利範圍第10項所述之卡匣，其中各該閂鎖單元更包含用以控制該閂鎖插銷之移動的一位置固定單元。
[12] 如申請專利範圍第11項所述之卡匣，其中該位置固定單元包含：一閉鎖凹部，其係形成於該閂鎖插銷之該主體單元周圍；以及一閉鎖單元，其係形成於該些門板框架中且選擇性地耦接至該閉鎖凹部，以在該閂鎖插銷移動後固定該閂鎖插銷之位置。
[13] 如申請專利範圍第12項所述之卡匣，其中該閉鎖單元包含：一彈簧，其係形成於位於該些門板框架中之一凹部中；以及一閉鎖球件，其係形成於該彈簧上並選擇性地耦接至該閉鎖凹部。
[14] 如申請專利範圍第12項所述之卡匣，其中該閉鎖凹部以及該閉鎖單元係分別形成於該閂鎖插銷之該主體單元中以及該些門板框架中之位置，該些位置係在該閂鎖插銷耦接至該閂鎖插銷耦接凹部後避免該閂鎖插銷被取代之位置。
[15] 如申請專利範圍第12項所述之卡匣，其中該閉鎖凹部之一入口係為弧形。
[16] 如申請專利範圍第10項所述之卡匣，其中一開孔係形成於面對該卡匣主體之一開口的該門板之一前表面中，該開孔係用以將該外部工具之該插銷插入該閂鎖插銷通孔中以直線地移動該閂鎖插銷。
[17] 如申請專利範圍第10項所述之卡匣，更包含至少一閂鎖插銷導板，其係形成於該些門板框架之該門板導引凹部內的該閂鎖插銷之周圍，以防止當該閂鎖插銷移動時發出聲響。
[18] 如申請專利範圍第17項所述之卡匣，其中該至少一閂鎖插銷導板係由聚合樹脂（polymer resin）形成。
[19] 如申請專利範圍第1項所述之卡匣，其中至少一定位孔形成於該門板之一前表面中，其中用以選擇性地開啟或關閉對應於該卡閘主體之該門板的一外部工具之至少一定位插銷係插入於該至少一定位孔中，以將該外部工具對齊於該門板上。
[20] 如申請專利範圍第19項所述之卡匣，其中該至少一定位孔具有一足夠大小使該外部工具之該至少一定位插銷以該門板之一厚度方向插入。
[21] 如申請專利範圍第19項所述之卡匣，其中該至少一定位孔係沿著該門板之該前表面之一對角線方向形成。
[22] 如申請專利範圍第1項所述之卡匣，更包含多個氣體過濾單元，其係形成於該門板上以控制經密封的該卡匣主體之內部壓力。
[23] 如申請專利範圍第1項所述之卡匣，更包含至少一角隅導板單元，其係沿著面對該卡匣主體之一開口之該門板的邊緣形成且彼此相互間隔，以使該門板適當耦接於該卡閘主體。
[24] 如申請專利範圍第23項所述之卡匣，其中與該卡匣主體之該開口鄰近之部分該至少一角隅導板單元係為圓錐型。
[25] 如申請專利範圍第1項所述之卡匣，其中藉由外部工具真空吸取（vacuum-sucked）之區域係形成於該門板之一前表面上。
[26] 如申請專利範圍第1項所述之卡匣，其中一密封層係沿著該卡匣主體之一開口之邊緣形成。
[27] 如申請專利範圍第1項所述之卡匣，更包含一懸掛式搬運握把（overhead hoist transport （OHT） grip），其係形成於該卡匣主體之一上表面以用於搬運該卡匣。

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